Höchste Genauigkeit
Unsere computergesteuerte Produktion, sowie Analysesysteme garantieren die Genauigkeit der Fluorgasmischungen. Die Einzelgase werden - in Abhängigkeit der unterschiedlichen Excimer LASER-Systeme und Anwendungen - individuell gemischt.
Langfristige Stabilität
Unsere Gasmischungen zeichnen sich durch Langzeitbeständigkeit aus. Die sorgfältige Zylinderpräparation reduziert chemische Reaktionen mit der Zylinderinnenwand auf ein Minimum und erfüllt damit höchste Standards.
Maximale Sicherheit
BUSE-Gasgemische sind eine zuverlässige Grundlage für die Betriebssicherheit Ihres Excimer LASER-Systems.
Individueller Gasbedarf
Die Excimer LASER-Gasmischungen sind an Ihren individuellen Bedarf angepasst und in den von Ihnen gewünschten Mengen und Größen erhältlich. Wir bieten Zylindergrößen mit 10l, 20l und 50l Wasservolumen an.
Verlässliche Lieferung
Ihre Anfragen sind in guten Händen. Unsere Auftragsbearbeitung ist kompetent und schnell. Das weltweite BUSE Logistiknetz ermöglicht die Lieferung - Immer zur richtigen Zeit!
Persönlicher Kontakt
Kompetente Fachleute stehen Ihnen zur Verfügung und unterstützen Sie persönlich mit ihrem Fachwissen. Beim Vor-Ort-Beratung in Ihrem Unternehmen beraten wir Sie individuell nach Ihrem Bedarf.
Der Qualitätsstandard von BUSE
Exakte Gasgemische für höchste Excimer LASER-Performance
Excimer LASER-Systeme finden in vielfältigen Industrien Anwendung. Neben dem Schwerpunkt Medizintechnik sind sie in der Halbleiterherstellung und in der Materialbearbeitung im Einsatz.
Für jede Anwendung bietet BUSE hochpräzise Gasgemische zum Betrieb von Excimer LASER Systemen – exakt abgestimmt auf das jeweilige System. Die Kontrolle der Zusammensetzung erfolgt durch umfangreiche Analyseverfahren. Sie bildet den entscheidenden Bestandteil des BUSE-Qualitätsstandards.
- Ophtalmologie
- Dermatologie
- Fotolithografie
- Materialbearbeitung
- Analyse- und Messtechnik
- Wissenschaftliche Anwendungen
BUSE garantiert die genaue Zusammensetzung des Excimer LASER-Gasgemisches nach Ihren individuellen Wünschen.
Auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten
Geprüfte und individuelle Gasgemische im weltweiten Vertrieb
BUSE garantiert höchste Qualität und Präzision bei individuellen Gasgemischen. Gasflaschen sind zum Kauf oder zur Miete verfügbar.
Das Excimer LASER-Gasgemisch durchläuft ein umfangreiches Analyseverfahren unter anderem mit Fourier-Transform Infrarotspektrometer (FTIR) System und Gaschromatograghie (GC) System. Die BUSE-Garantie auf die Zusammensetzung umfasst u.a. die Reinheit der Einzelgase sowie deren Anteil und Konzentration im fertigen Gasgemisch.
Die präzise Befüllung der Flaschen im ppm-Bereich und die hohe Stabilität der Gase gewährleisten die Qualität der Gemische. Die Kontrolle der Fluorkonzentration erfolgt mit dem BUSE-Fluormonitor im fertigen Gasgemisch. Das Analyseergebnis bildet die Grundlage für die Erstellung des Certificate of Analysis (CoA) oder des Certificate of Conformitiy (CoC).
ArFArgonfluorid 193nmXeClXenonchlorid 308nmKrFKryptonfluorid 248nm- Andere Gasgemische auf Anfrage
Unser Versprechen
Garantierte Lieferung unter höchsten Sicherheitsstandards
Ansprechbar für Sie
Treten Sie mit uns in Kontakt
Gerne beraten wir Sie persönlich, kümmern uns um Ihre Anliegen und beantworten Ihre Fragen - per Mail, Telefon oder in einem individuellen Termin. Wir begleiten Sie rundum im Anfrage-, Bestell- und Lieferprozess – und darüber hinaus!
Wir antworten Ihnen innerhalb von 48 Stunden!
Bettina Stürmer
Customer Service
freut sich auf Ihren Anruf
oder Ihre E-Mail-Nachricht!

Garantierte Expertise
Die BUSE Gruppe -
130 Jahre Erfahrung in Gasgemischen
Dabei legen wir größten Wert auf hohe Produktqualität bei allen Gasen, dem nötigen Zubehör und unserem Service. Denn genau dieses Werteempfinden ist der Erfolgsfaktor für unsere Geschäftsentwicklung in den letzten Jahren. Das wird sich auch in Zukunft nicht ändern.





